MEMS熱式氣體流量傳感器及其選型

2023-10-18 11:50:10

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熱式氣體流量傳感器簡介

熱式氣體流量傳感器是基于流體傳熱學(xué)原理的一類傳感器，利用 MEMS 熱式原理對管路氣體介質(zhì)進(jìn)行流量監(jiān)測。

流量芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成，熱偶堆對稱分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個隔熱底座上。

加熱電阻對熱偶堆的熱結(jié)進(jìn)行加熱，熱偶堆熱結(jié)和冷結(jié)之間的溫度梯度導(dǎo)致輸出電壓。當(dāng)流體靜止時

加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度是相同的；當(dāng)流體從右向左流動時等溫線向左側(cè)傾斜，加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測定。

由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可以直接測出流體質(zhì)量流量。

熱式氣體流量傳感器特點及應(yīng)用

熱式氣體流量傳感器利用比較簡單的構(gòu)造來準(zhǔn)確地測量氣體的質(zhì)量流量，具有結(jié)構(gòu)簡單、壓損小、量程范圍寬等優(yōu)點，在工業(yè)過程控制、醫(yī)療設(shè)備、便攜式儀器、環(huán)境監(jiān)測設(shè)備等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)
精度高，響應(yīng)速度快，重復(fù)性好
可準(zhǔn)確測量極小流量
經(jīng)過完全校準(zhǔn)和溫度補償

熱式氣體流量傳感器選型

型號	FR03	FR03H
產(chǎn)品圖
常規(guī)量程（SLM）	0.1/0.2/0.3/0.5	1/2/3/4/5
通徑	DN3
輸出方式	線性1-5V/0.5-4.5V	線性1-5V/0.5-4.5V或數(shù)字IIC
工作電壓	DC5V-14V
精度	±（2±0.5FS）%
工作壓力	可定制	≤200Kpa
工作溫度	0℃~50℃
儲存溫度	-20℃~80℃
測量介質(zhì)	干燥潔凈的非腐蝕性氣體
電氣接口	2.54mm-5P插針或PH2.0-5P端子（可選）
機械接口	/	ISO3mm

型號	FR06	FR15
產(chǎn)品圖
常規(guī)量程（SLM）	10/15/20	0-300
通徑	DN6	DN15
輸出方式	線性1-5V/0.5-4.5v或數(shù)字IIC	線性模擬電壓和數(shù)字IIC
工作電壓	DC5V-14V
精度	±（2±0.5FS）%	0-9SLM ±0.5SLM 9-300SLM ±2.5%FS
工作壓力	可定制	/
工作溫度	0℃~50℃	5℃~60℃
儲存溫度	-20℃~80℃
測量介質(zhì)	干燥潔凈的非腐蝕性氣體
電氣接口	2.54mm-5P插針或PH2.0-5P端子（可選）	Molex 87832-1010
機械接口	φ6-G1/8氣動插頭	/

型號	FR20	F1012
產(chǎn)品圖
常規(guī)量程（SLM）	150/200/300	0.03/0.05/ 0.1/0.2/0.3/0.5/1
通徑	DN20	DN3
輸出方式	線性1-5V/0.5-4.5V或數(shù)字IIC	線性1-5V/0.5-4.5V
工作電壓	DC5V-14V	DC7V-14V
精度	±（2±0.5FS）%	±2.5%FS
工作壓力	≤200KPa
工作溫度	0℃~50℃
儲存溫度	-20℃~80℃
測量介質(zhì)	干燥潔凈的非腐蝕性氣體
電氣接口	PH2.0-5P端子	2.54mm-5P插針
機械接口	ISO20mm	ISO3mm

型號	F1031	F1031V
產(chǎn)品圖
常規(guī)量程（SLM）	50/100/150/200/300	100/150/200/300
通徑	DN20
輸出方式	線性1-5V/0.5-4.5V	線性0.5-4.5V
工作電壓	DC7V-14V	DC5V-14V
精度	±2.5%FS	±4%FS
工作壓力	≤200KPa
工作溫度	0℃~50℃
儲存溫度	-20℃~80℃
測量介質(zhì)	干燥潔凈的非腐蝕性氣體
電氣接口	PH2.0-5P端子
機械接口	ISO20mm